Печь «РЕДМЕТ 6» (СЗВН-80.1500/14,5-И1)
Электропечь предназначена для выращивания монокристаллов кремния малого диаметра,необходимых в полупроводниковой промышленности, в среде инертного газа.
Технические характеристики:
Установка питается от 3-х фазной сети электрического переменного тока напряжением 380 В и частотой 50 Гц.
| Номинальная мощность, кВт, не более ……………………….. | 90 |
| Установленная мощность, кВА, не более ……………………. | 120 |
| Номинальная температура на нагревателе, °С, не более ………………………………………… |
1550 |
| Максимальные размеры выращиваемых монокристаллов, мм, не менее | |
| диаметр…………………………………………………………………. | 80 |
| высота…………………………………………………………………… | 1500 |
| Стабильность температуры на нагревателе, %, не хуже ………………………………………….. |
±0,1 |
| Предельный вакуум (в холодном состоянии), Па ……….. | 133,3×10-2 |
| Масса садки, кг, не более …………………………………………….. | 10,0 |
| Удельная масса электропечи, т/м³, не более ……………… | 1,28×10-6 |
| Удельная мощность,кВ т/м³, не более ………………………… | 28,84×10-6 |
| Габаритные размеры ……………………………………………………. | 3440×2500×4500 |
| Масса электропечи, т, не более …………………………………… | 4,3 |