Установка высокочастотная «Кристалл 109М»
Установка «Кристалл 109М» предназначена для групповой бестигельной зонной плавки и получения высокоомных бездислокационных монокристаллов кремния. Установка предназначена для оснащения цехов, производящих поликристаллический кремний.
Технические характеристики:
| Мощность колебательная, кВт, не менее …………………….. | 40±4,0 |
| Мощность потребляемая, кВт,не более ………………………. | 70 |
| Максимальный диаметр выращиваемых слитков, мм … | 70±5 |
| Расход охлаждающей воды, м³/ч, не менее ………………… | 5 |
| Частота рабочая,МГц …………………………………………………... | 1,76±0,044 |
| Длина рабочего хода, мм ……………………………………………… | 1000±20 |
| Напряжение питающей сети, В ……………….……………………. | 380 |
| Частота тока, Гц …………………………………………………………… | 50 |
| Число фаз питающей сети ……………………………………………. | 3 |
| Габаритные размеры ……………………………………………………. | 2000×2225×5750 |
| Масса, кг, не более ……………………………………………………….. | 5000 |