Установка высокочастотная «Кристалл 109»
Установка «Кристалл 109 » предназначена для групповой бестигельной зонной плавки и получения высокоомных бездислокационных монокристаллов кремния. Установка предназначена для оснащения цехов, производящих поликристаллический кремний.
Технические характеристики:
| Мощность колебательная, кВт, не менее | 40±4,0 |
| Мощность потребляемая, кВт,не более | 70 |
| Максимальный диаметр выращиваемых слитков, мм | |
| при однопроходной технологии | 40 |
| при многопроходной технологии | 30 |
| Количество одновременно выращиваемых прутков, шт | |
| при зонной плавке | 3 |
| при получении бездислокационных монокристаллов | 1 |
| Длина рабочего хода, мм | 1000±20 |
| Расход охлаждающей воды, м³/ч, не менее | 5 |
| Частота рабочая,М Гц | 1,76±0,044 |
| Напряжение питающей сети, В ……………….…………………… | 380 |
| Число фаз питающей сети | 3 |
| Габаритные размеры ……………………………………………………. | 6200×2225×4000 |
| Масса, кг, не более | 5800 |