Установка высокочастотная «Кристалл 108М»
Установка «Кристалл 108М» предназначена для получения бездислокационных монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки. Установка предназначена для оснащения цехов, производящих поликристаллический кремний.
Технические характеристики:
| Диаметр получаемого слитка, мм, максимальный ……… | 125 |
| Макс. длина получаемого слитка, мм …………………………. | 700 |
| Мощность колебательная, кВт ……………………………………. | 60±6,0 |
| Мощность потребляемая от сети, кВт ………………………… | 120 |
| Рабочая частота генератора, МГц | 1,76±0,04 |
| Расход охлаждающей воды, м³/ч, не менее ………………… | 7 |
| Частота питающей сети, Гц ………………………………………….. | 50 |
| Напряжение питающей сети, В ……………….……………………. | 380 |
| Число фаз питающей сети ……………………………………………. | 3 |
| Габаритные размеры ……………………………………………………. | 4260×2130×2800 |
| Масса, кг, не более ……………………………………………………….. | 6740 |