Установка высокочастотная «Кристалл 107»
Установка «Кристалл 107» предназначена для получения бездислокационных монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки. Установка предназначена для оснащения цехов, производящих поликристаллический кремний.
Технические характеристики:
| Диаметр получаемого слитка, мм, максимальный ……… | 90 |
| Макс. длина получаемого слитка, мм …………………………. | 1000 |
| Мощность колебательная, кВт ……………………………………. | 40±4,0 |
| Мощность потребляемая от сети, кВт ………………………… | 70 |
| Рабочая частота генератора, МГц ……………………………….. | 1,76±0,04 |
| Расход охлаждающей воды, м³/ч, не менее ………………… | 5 |
| Частота питающей сети, Гц ………………………………………….. | 50 |
| Напряжение питающей сети, В ……………….……………………. | 380 |
| Число фаз питающей сети ……………………………………………. | 3 |
| Габаритные размеры блока печи, мм …………………………… | 1870×1470×3455 |
| Габаритные размеры верхней камеры, мм …………………… | 710×690×1070 |
| Масса, т, не более ………………………………………………………… | 4,2 |